VP-5ZA
Vysoce přesné vertikální lineární stolky se stejnosměrným motorem. Opakovatelnost polohování je 0,5 µm, délka dráhy 4,8 mm, rychlost až 5 mm/s.
Aplikace:
- Inspekce polovodičových waferů
- Zkoušky a montáž v mikroelektronice
- Inspekce povrchů
- Přesná metrologie
