IMS-LM
Vysoce přesné lineární stolky s lineárním motorem. Opakovatelnost polohování je 0,5 µm, délka dráhy 300 až 600 mm, rychlost až 500 mm/s.
Aplikace:
- Přesné průmyslové aplikace
- Inspekce polovodičových waferů
- Zkoušky a montáž v mikroelektronice
- Sekvenování DNA
