GTS Vertical
Vysoce přesné vertikální lineární stolky se stejnosměrným motorem. Opakovatelnost polohování je 0,2 µm, délka dráhy 30 mm, rychlost až 10 mm/s.
Aplikace:
- Inspekce polovodičových waferů
- Polohování optických komponent
- Přesná metrologie
Vysoce přesné vertikální lineární stolky se stejnosměrným motorem. Opakovatelnost polohování je 0,2 µm, délka dráhy 30 mm, rychlost až 10 mm/s.
Aplikace:
