Air Bearing systémy
Polohovací systémy s nejvyšší přesností na bázi vzduchového ložiska v konfiguraci XY.
Aplikace:
- Polohování waferů v polovodičovém průmyslu
- Přesné polohování v průmyslu
Polohovací systémy s nejvyšší přesností na bázi vzduchového ložiska v konfiguraci XY.
Aplikace: