Polohovací systém HybrYX™ pro kontrolu waferů
Firma MKS Newport nabízí řadu vysoce výkonných systémů se vzduchovými ložisky vhodných pro použití v linkách pro kontrolu waferů a dalších aplikacích v polovodičovém průmyslu.
Polohovací systém HybrYX™ je cenově dostupná XY pracovní stanice se vzduchovými ložisky, která se velmi dobře hodí pro systémy kontroly polovodičových destiček a mnoho dalších skenovacích aplikací vyžadujících ultra-nízký zdvih a extrémně přesné polohování. Systém HybrYX umožňuje skenovací rychlost až 600 mm/s, zrychlení 0,6 G a velký rozsah pohybu v obou osách (> 1000 mm). Systém HybrYX poskytuje prověřený a spolehlivý provoz s dlouhou životností, takže je ideální pro prostředí s vysokým pracovním cyklem, jako např. při kontrole polovodičových waferů. Rozsáhlé využití keramických materiálů při konstrukci systému HybrYX poskytuje mimořádně vysokou strukturální stabilitu, navíc je systém navržen s co nejnižším profilem tak, aby byl co nejlépe využitelný v průmyslových OEM aplikacích.
Více informací najdete zde.
